改英特格材料将进入7nm制程是关键角色

S台湾区总裁曹世纶曾指出，站在协会的立场，能够让外商理解并在台投资，一向是协会的任务之一，由于台湾在全球晶圆代工与封测领域正值巅峰时期，若能抓准时机让国外的供应商落脚台湾，建置分公司甚至是实验室，对于台湾本土的供应链来说，无疑是正面的消我们走到那里息。而材料供应商英特格正是打算在台湾持续投资的外商之一。

英特格台湾分公司总经理杨陈杰谈到，自去年英特格并购了ATMI后，英特格就希望能够成为客户的策略合作伙伴，也在竹东成立台湾技术中心，1周1消毒在材料方面，英特格与位于新竹的交通大学，进行产学合作，英特格拥有一条实验型产线，可让客户进行实验，甚至是小批量量产，这种作法可让客户免于使用既有产线进行测试，既有产线可以持续量产晶圆，而测验实验则交由英特格来处理即可，进一步缩短客户的开发时间。此外，由于英特格拥有1，000种以上的材料的资料库，所以能在台湾技术中心进行材料方面的研发。杨陈杰也指出，未来英特格也打算在杨梅兴建第二条测试产线，预计在2016年的第三季完成建置。

而谈到材料市场未来的发展状况，英特格市场副总裁WengeYang博士表示，先进制程的不断演进，在技术上愈趋困难，在进入14至16纳米制程后，其量产程序多达两千道以上，若每道程序都不能出错以提升良率，困难程度大幅提升，更遑论接下来的10纳米制程。所以若要让摩尔定律能持续推展下去，材料势必是不可忽略的一环。而既有的晶圆厂仍然会持续运作之下，材料的消耗将持续下去，即便先进制程面临不少挑战，但大体上，材料市场仍可以维持一定的消费力道。

至于在未来，更进一步的7纳米制程，英特格策略暨技术管理副总裁李为博士则是谈到，新材料：锗，是目前呼声最高的材料，将有机会取代铜，目前也已有供应商开始提供。但问题在于要如何与设备与既有制程整合？由于锗无法与水相容，在接触之后会产生毒性，此外，该材料本身的稳定性也并不是相当高，所以还是要审慎因应这方面的问题。而在过去既有制程的发展历程中，大多是设备业者扮演关键角色，而材料业者则是居于配角，WengeYang博士认为，进入7纳米制程后，将会转变成两者必须相辅相成，才能有效面对该制程所带来的困难。