国产氟化氢替代日本产品海力士无锡厂已权衡

要坦率真诚 国产氟化氢替代日本产品！SK海力士无锡厂已完全使用中国产氟化氢

据韩国《中央》9月4道，在日本政府限制向韩国出口氟化氢、光刻胶、含氟聚酰亚胺等尖端半导体材料后，SK海力士设在中国无锡的半导体工厂已经完全使用中国生产的氟化氢取代了日本产品。

报道还指出，三星电子和SK海力士负责材料开发的工程师正在对韩国生产的氟化氢试验品进行成分分析，三星电子已经开始使用替代产品。三星电子和SK海力士寻找日产氟化氢替代材料的工作比预期进展顺利，预计到年底前后，全球范围内工厂可以完全替代日本产品。

韩国半导体业界消息称，三星电子已经从8月中旬开始把韩国国内企业“Soulbrain”和“ENF TECH”生产的氟化氢用于部分工程。

不过，三星电子目前尚未把国产氟化氢用于所有半导体生产工程。三星电子相关人士说，“将首先把国内企业生产的氟化氢试验品投入到敏感度较低的工程，未来再陆续投入到高敏感度的工程”。

据了解，半导体工程大约由500项工程构成，其中需要氟化氢的工程有50项左右。也就是说，三星电子先把国产氟化氢应用到其中的项工程中，用来取代日本产品。

在高纯度的氟化氢市场，日本厂商大约占据8至9成份额。三星电子对于是否全面采用日本造以外的氟化氢仍持谨慎态度。

SK海力士也计划尽快对韩国国内企业生产的氟化氢进行试用。据了解，SK海力士设在中国无锡的半导体工厂已经完全使用中国生产的氟化氢取代了日本产品。

同时，三星电子和SK海力士负责材料开发的工程师正在对国产氟化氢试验品进行成分分析，旨在根据半导体工厂的要求，对国内企业生产的氟化氢成分含量进行调整。

报道称，这相当于三星电子和海力士与国内材料企业一起进行“共同研发”。只有产品成分结构与以往使用的日本Stella和Morita公司产品接近，没有大的差异，在用于半导体工程时才不会生产出缺陷产品。

除了三星，LG Display已完成对国内生产的高纯度氟化氢的测试并开始将其应用于其生产过程，这一过程比预期的要提前了近一个月时间。消息称，韩国自制的氟化氢符合产量和成本要求且LG Display已将韩国国产氟化氢应用于有机发光二极管（OLED）面板等旗舰面板的生产上。

此外，韩国国内材料企业“Soulbrain”忠南公州工厂的扩建工程如果按计划在本月末竣工，韩国国产氟化氢的产能有望进一步扩大。

“Soulbrain”和“ENF TECH”以前一直从日本Stella和Morita进口氟化氢进行提纯，然后制作成半导体工程使用的蚀刻剂材料，向三星供货。在日本限制对韩出口后，这些国内企业开始从中国台湾和中国大陆进口氟化氢。