意法半导体MEMS助推运动感应消费电子热

无论是挥动一支无线指挥棒，指挥一个虚拟的交响乐团，把沉闷的理疗变成一次互动娱乐体验；还是一改传统的菜单浏览方式，用倾斜机身取代按键操作，被称作MEMS（微机电系统）的运动感应技术正在颠覆便携设备和消费电子产品世界，意法半导体（纽约证券交易所代码：STM）是这场变革的领导者。据市场分析公司 iSuppli的调查，意法半导体的MEMS在便携设备和消费类产品中的销售收入，从2007年的9600万美元，增长到2008年的2.09亿美元，增幅高达118%，成为这个高速增长的新兴市场上的第一大供应商，意法半导体MEMS产品的主要收入多半来自任天堂的Wii、个人电脑自由落体检测（如富士通西门子的ESPRIMO系列产品）、Gyration Air Mouse公司的空中鼠标、先进智能等应用。

“这一成功证明我们的MEMS愿景是正确的，几年前，我们认为新型MEMS技术能够创造激动人心的全新的消费应用均视同在台逾期停留。预期停留期间及送回所需交通等费用，于是决定集中资源开发MEMS技术，”意法半导体产品部门副总裁兼MEMS与健康保健产品、射频技术和传感器产品分部总经理Benedetto Vigna表示，“在2006年以前，MEMS传感器的应用领域很窄，仅限于如安全气囊碰撞传感器等少数应用，因为体积庞大，功耗极高，成本昂贵，无法用于消费产品在主要港口和主要集散地形成一定规模储备。。”

通过设计开发新的MEMS结构，获取新技术的专利，在保证高性能的同时，缩小器件尺寸，提高可靠性，降低耗电量，意法半导体解决了前两个难题。为解决第三个难题，公司于2006年迈出大胆的一步，投资4000万美元建立世界最先进的MEMS生产线。 2006年11月，意法半导体在米兰近郊的Agrate地区落成一个200mm（8英寸）晶圆制造厂，专门制造MEMS产品，如加速传感器、陀螺仪和压力传感器。

“得益于半导体器件的同步加工工艺，晶圆片的直径提高了50%，芯片数量增加了一倍多，同时，这种技术还大幅度降低了芯片的单位成本。”Vigna表示，“意法半导体是世界唯一拥有一条200mm生产线的MEMS厂商，这意味着我们能够为客户批量提供精确而可靠的产品，而且价格满足他们创造激动人心的全新消费电子应用的要求，这就是我们所做的一切。”

在MEMS线性运动传感器取得巨大成功后，意法半导体扩大了产品阵容，新增加了微型MEMS陀螺仪。这类传感器可检测倾斜和角速度，特别适合更复杂的游戏机、虚拟现实传感器、运动控制、指示设备，以及汽车导航功能，如航位推算和地图匹配等。